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關鍵詞：金屬摻雜類金剛(gang)石 相分離 自組(zu)織分層 富金屬層 富碳層 

摘要：近(jin)年(nian)來,研(yan)究(jiu)學(xue)者發(fa)現在(zai)沉積(ji)(ji)過程中(zhong),某些金(jin)屬(shu)元(yuan)素摻雜類金(jin)剛(gang)(gang)石薄(bo)膜時能(neng)夠形成(cheng)(cheng)(cheng)一(yi)(yi)種(zhong)特殊的(de)(de)(de)(de)自(zi)組織(zhi)(zhi)(zhi)分(fen)層(ceng)(ceng)(ceng)納米結(jie)構(gou),這種(zhong)納米結(jie)構(gou)克(ke)服了(le)人為調(diao)控多(duo)層(ceng)(ceng)(ceng)薄(bo)膜的(de)(de)(de)(de)工藝復雜性(xing)及局限性(xing),同時賦予(yu)了(le)薄(bo)膜更加(jia)優異的(de)(de)(de)(de)性(xing)能(neng)。主(zhu)要綜述了(le)國內外對(dui)(dui)金(jin)屬(shu)摻雜類金(jin)剛(gang)(gang)石薄(bo)膜中(zhong)自(zi)組織(zhi)(zhi)(zhi)分(fen)層(ceng)(ceng)(ceng)結(jie)構(gou)的(de)(de)(de)(de)影響(xiang)因素、形成(cheng)(cheng)(cheng)機(ji)(ji)(ji)理(li)(li)(li)(li)等方面(mian)的(de)(de)(de)(de)研(yan)究(jiu)現狀(zhuang)。詳細(xi)闡述了(le)金(jin)屬(shu)類型及含(han)量、沉積(ji)(ji)條(tiao)件(脈沖頻率、基(ji)體偏壓、氣流比(bi)、沉積(ji)(ji)溫度、沉積(ji)(ji)時間(jian))、沉積(ji)(ji)方法等參(can)數對(dui)(dui)自(zi)組織(zhi)(zhi)(zhi)分(fen)層(ceng)(ceng)(ceng)結(jie)構(gou)的(de)(de)(de)(de)生成(cheng)(cheng)(cheng)及富(fu)金(jin)屬(shu)層(ceng)(ceng)(ceng)厚(hou)、富(fu)碳(tan)層(ceng)(ceng)(ceng)厚(hou)、層(ceng)(ceng)(ceng)數等尺寸的(de)(de)(de)(de)作(zuo)用規律。重(zhong)點介紹了(le)離子重(zhong)排機(ji)(ji)(ji)理(li)(li)(li)(li)、金(jin)屬(shu)催化機(ji)(ji)(ji)理(li)(li)(li)(li)、強(qiang)離子輻照誘導機(ji)(ji)(ji)理(li)(li)(li)(li)和靶中(zhong)毒機(ji)(ji)(ji)理(li)(li)(li)(li)四(si)種(zhong)自(zi)組織(zhi)(zhi)(zhi)分(fen)層(ceng)(ceng)(ceng)結(jie)構(gou)形成(cheng)(cheng)(cheng)機(ji)(ji)(ji)理(li)(li)(li)(li)的(de)(de)(de)(de)特點,并探討了(le)目前(qian)研(yan)究(jiu)工作(zuo)中(zhong)存在(zai)的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)些不足,如(ru)自(zi)組織(zhi)(zhi)(zhi)分(fen)層(ceng)(ceng)(ceng)結(jie)構(gou)的(de)(de)(de)(de)形成(cheng)(cheng)(cheng)機(ji)(ji)(ji)理(li)(li)(li)(li)尚不清(qing)晰(xi)。上述四(si)種(zhong)機(ji)(ji)(ji)理(li)(li)(li)(li)模(mo)型均具有(you)一(yi)(yi)定的(de)(de)(de)(de)局限性(xing),且(qie)如(ru)何設計工藝參(can)數實現自(zi)組織(zhi)(zhi)(zhi)分(fen)層(ceng)(ceng)(ceng)結(jie)構(gou)的(de)(de)(de)(de)內在(zai)調(diao)控仍是一(yi)(yi)個(ge)科學(xue)難點。針對(dui)(dui)這些問題,提出了(le)自(zi)組織(zhi)(zhi)(zhi)分(fen)層(ceng)(ceng)(ceng)結(jie)構(gou)碳(tan)基(ji)薄(bo)膜的(de)(de)(de)(de)未來研(yan)究(jiu)方向(xiang)。

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